C, les contraintes thermiques

En raison de la différence dans les coefficients de dilatation thermique (KTR) DA SIS et SI FILMS dans ce dernier dans le processus de recuit, de forts contraintes biaxiales se développent. La valeur et le signe de ces contraintes peuvent être estimés en multipliant le module d’élasticité biaxial du film par DA. Puisque KTR SI (GOCO6 GRAD) est beaucoup plus grand que celui du silicium (H. Ogcho -6 ville), puis wcudasi cu -2.4 MPAGRAD. C’est-à-dire qu’en cours de chauffage dans le film, les contraintes de compression se développent. La valeur de ces tensions est de 420 MPa à une température de 200 ° C, et à 500 ° C, les contraintes thermiques peuvent atteindre 1140 MPa.