En un vacío 1G10
Las películas de recocido térmico se llevaron a cabo durante 1 hora en un vacío 1G10-5 PA a temperaturas de 100 a 500 s.
Los estudios de la morfología de la superficie de las películas se llevaron a cabo utilizando un microscopio de potencia atómica SMM-2000TA (CJSC PPD Moscú, MIET). En condiciones atmosféricas a temperatura ambiente. El escaneo de la cantilere en la superficie se llevó a cabo al mantener el valor constante de la corriente de fotodiodo por retroalimentación, que corresponde a escanear en modo con la interacción constante de la interacción de bases de sonda.
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