Maintien de la

Des films de recuit thermique ont été réalisés pendant 1 heure dans un vide 1G10-5 PA à des températures de 100 à 500 s.

Des études sur la morphologie de la surface des films ont été réalisées à l’aide d’un microscope à puissance atomique SMM-2000TA (CJSC PPD Moscou, Miet). Dans des conditions atmosphériques à température ambiante. Le balayage de Cantilere sur la surface a été effectué lors du maintien de la valeur constante du courant de photodiode par rétroaction, ce qui correspond à la balayage en mode avec l’interaction constante de l’interaction de sonde de sonde.